系统在以生产快速运行时，能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高，精度好，能够快速响应使系统能够快速稳定下来，达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷，满足晶圆每小时生产效率的关键要求。
针对本行业应用，我司研发出QFHDS双轴H形超精密气浮运动台，同时满足许多高精度应用，如半导体加工，光子学，精密扫描，以及平板显示器制造中。该平台均是直接驱动、直接反馈型设备，经过大量的测试，可确保达到一流的精度和稳定性性能。
